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產品中心高精度電動平移臺系列壓電陶瓷納米臺三維小體積壓電納米定位臺HE-NMXYZ30
產品分類
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產品參數:
| 按要求定制 | ||
| 型號 | HE-NMXYZ30 | |
| 運動自由度 | X、Y、Z | |
| 驅動控制 | 1路驅動，1路傳感 | |
| X,Y方向行程 | 大于40μm | |
| Z軸行程 | 40μm | |
| X軸精度 | 高于500nm | |
| Y,Z方向精度 | 高于1000nm | |
| 標稱行程范圍(0~120V） | 80μm±10% | |
| Max.行程范圍(0~150V) | 100μm±10% | |
| 傳感器類型 | SGS/－ | |
| 閉/開環分辨率 | 3/0.1nm | |
| 閉環線性度 | 0.05/－%F.S. | |
| 閉環重復定位精度 | 0.02/-%F.S. | |
| 俯仰/偏航/滾動 | <10μrad | |
| 推/拉力 | 30/10N | |
| 運動方向剛度 | 0.3N/μm±20% | |
| 空載諧振頻率 | 0.3kHz±20% | |
| 閉/開環空載階躍時間 | 10/0.8ms±20% | |
| 閉環工作頻率（-3dB） | 70（負載100g）Hz±20% | |
| 承載能力 | 水平安裝 | 0.8kg |
| 立式安裝 | 0.05kg | |
| 倒置安裝 | 0.8kg | |
| 靜電容量 | 1.8μF±20% | |
| 材質 | 鋼、鋁 | |
| 重量 | 100g±5% | |
產品尺寸:
高精科技有限責任公司是一家集光學、精密機械、自動化控制等技術于一體的高科技自主研發企業，一直服務于科研大專院校，根據不同客戶需求，研發配套軟硬件系統產品，涵蓋光學元器件、精密機械部件、自動控制、等大類通過長期的不懈努力、對光路搭建系統的工藝把控和對客戶的優良服務，在科研、大專院校、機械自動化等諸多領域成長為廠商。公司的長焦鏡頭，自動化機械控制臺、手動控制臺、高亮度光源等產品，產品注重模塊化,集成化，已形成量產，規格全、提供長期穩定的服務、同時提供定制服務。
目前主要產品：中空顯微掃描平臺 中空轉臺 直線電機平臺 電動旋轉臺 電動六維臺 六維調節平臺 六軸干涉儀調整架 六軸鏡架 手動升降臺 角度調節臺 方位調節臺 電動升降臺 三軸調節臺 XYZ調節臺 光學平臺 光學平板 拉伸平臺 傾斜臺 高真空電動平臺 真空平臺 光學平臺 面包板 電動角位臺 手動角位臺 長工作距物鏡 大數值孔徑物鏡
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