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產品中心高精度電動平移臺系列納米 壓電平臺三維小體積壓電納米定位臺PT-NMXYZ30
產品分類
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產品參數:
| 按要求定制 | ||
| 型號 | PT-NMXYZ30 | |
| 運動自由度 | X、Y、Z | |
| 驅動控制 | 1路驅動，1路傳感 | |
| X,Y方向行程 | 大于40μm | |
| Z軸行程 | 40μm | |
| X軸精度 | 高于500nm | |
| Y,Z方向精度 | 高于1000nm | |
| 標稱行程范圍(0~120V） | 80μm±10% | |
| Max.行程范圍(0~150V) | 100μm±10% | |
| 傳感器類型 | SGS/－ | |
| 閉/開環分辨率 | 3/0.1nm | |
| 閉環線性度 | 0.05/－%F.S. | |
| 閉環重復定位精度 | 0.02/-%F.S. | |
| 俯仰/偏航/滾動 | <10μrad | |
| 推/拉力 | 30/10N | |
| 運動方向剛度 | 0.3N/μm±20% | |
| 空載諧振頻率 | 0.3kHz±20% | |
| 閉/開環空載階躍時間 | 10/0.8ms±20% | |
| 閉環工作頻率（-3dB） | 70（負載100g）Hz±20% | |
| 承載能力 | 水平安裝 | 0.8kg |
| 立式安裝 | 0.05kg | |
| 倒置安裝 | 0.8kg | |
| 靜電容量 | 1.8μF±20% | |
| 材質 | 鋼、鋁 | |
| 重量 | 100g±5% | |
產品尺寸:
高精科技有限責任公司是一家集光學、精密機械、自動化控制等技術于一體的高科技自主研發企業，一直服務于科研大專院校，根據不同客戶需求，研發配套軟硬件系統產品，涵蓋光學元器件、精密機械部件、自動控制、等大類通過長期的不懈努力、對光路搭建系統的工藝把控和對客戶的優良服務，在科研、大專院校、機械自動化等諸多領域成長為廠商。公司的長焦鏡頭，自動化機械控制臺、手動控制臺、高亮度光源等產品，產品注重模塊化,集成化，已形成量產，規格全、提供長期穩定的服務、同時提供定制服務。
目前主要產品：中空顯微掃描平臺 中空轉臺 直線電機平臺 電動旋轉臺 電動六維臺 六維調節平臺 六軸干涉儀調整架 六軸鏡架 手動升降臺 角度調節臺 方位調節臺 電動升降臺 三軸調節臺 XYZ調節臺 光學平臺 光學平板 拉伸平臺 傾斜臺 高真空電動平臺 真空平臺 光學平臺 面包板 電動角位臺 手動角位臺 長工作距物鏡 大數值孔徑物鏡
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